CDG025D-S SKY? INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì), 在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。
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德國英??礗NFICON CDG025D電容膜片真空計(jì)產(chǎn)品簡介:
INFICON SKY CDG025D 電容膜片計(jì)系列高精度溫度補(bǔ)償壓力計(jì)專為在惡劣的制造工具環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能而設(shè)計(jì)。
先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備可提高儀表性能并提供易于操作的功能,例如一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。
耐腐蝕陶瓷傳感器提供的零穩(wěn)定性,預(yù)期壽命長達(dá)數(shù)百萬個壓力循環(huán),包括大氣爆裂。獨(dú)特的傳感器屏蔽可保護(hù)儀表免受過程污染。
穩(wěn)健的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子設(shè)備提高了 EMC 兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。
CDG025D 為通電后的快速穩(wěn)定性和大氣壓力暴露的快速恢復(fù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。
德國英??礗NFICON CDG025D電容膜片真空計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn):
. 滿量程范圍從 100 mTorr … 1000 Torr
. 上電后快速穩(wěn)定
. 從大氣壓中快速恢復(fù)
. 耐腐蝕陶瓷傳感器
. 長期信號穩(wěn)定性
. 溫度補(bǔ)償
. 傳感器免受污染
. 一鍵歸零功能
. 寬范圍電源。
德國英福康INFICON CDG025D電容膜片真空計(jì)產(chǎn)品應(yīng)用:
. 用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導(dǎo)體制造設(shè)備
. 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
. 工業(yè)真空設(shè)備
. 通用高精度壓力測量。