DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)配有真空腔,射頻電源,真空泵,控制系統(tǒng),流量控制系統(tǒng)。
關(guān)鍵字:DSX-VPD-8L-S,DSX-VPO-8L-S,DSX-VPD-8L-S等離子清洗機(jī)
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品簡介:
設(shè)備簡介:
1、真空腔
采用進(jìn)口材料制作而成,焊接無漏氣,*優(yōu)化 8 層電*設(shè)計合理利用空間,專業(yè)等離子發(fā)生方式,絕緣可靠良好。
2、射頻電源
*全可靠的射頻電源(13.56MHz),為等離子的產(chǎn)生提供保障。
3、真空泵
快速靜音抽真空系統(tǒng)設(shè)計,真空度可至 10pa 以內(nèi),保證設(shè)備使用的各個需求壓力。
4、控制系統(tǒng)
PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)設(shè)計,方便客戶使用和操作。
5、流量控制系統(tǒng)
專業(yè)閉環(huán)流量控制系統(tǒng),保證工藝氣體的準(zhǔn)確,確保等離子的效果的穩(wěn)定。
裝機(jī)前準(zhǔn)備:
1、壓縮空氣:≥0.5mpa,?6mm PU 管
2、工藝氣體:AR&O2(純度:≥99.999%)0.15~0.25mpa,?6mm PU 管
3、廢氣排放:?50mm 接口
4、主電源:≥ 4mm2 電源線(三相五線),5.7KW Main
設(shè)備工作流程:
1、真空抽取:將產(chǎn)品放置腔體內(nèi),關(guān)上腔體門,打開真空泵,將真空腔內(nèi)氣壓從常壓抽至 30pa(自行設(shè)置)以內(nèi);
2、添加工藝氣體:將準(zhǔn)確流量的工藝氣體添加至真空腔室內(nèi),均勻分布;
3、產(chǎn)生等離子:射頻電源提供能量電離真空腔內(nèi)的工藝氣體,形成等離子體;
4、產(chǎn)品處理:根據(jù)設(shè)置時間處理產(chǎn)品的等離子處理時間;
5、破真空:產(chǎn)品處理完成后,打開破真空電磁閥,將真空腔壓力恢復(fù)至常壓取出產(chǎn)品。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):
名稱(Name) | Vacuum Plasma system真空等離子清洗機(jī) | |||
型號(Model) | DSX- VPD-8L-S | |||
技術(shù)參數(shù)(Technical Parameter) | 備注(Remarks) | |||
1 | 控制系統(tǒng) (Control system) | PLC+HMI | Mitsubishi | |
2 | 真空泵 Vacuum Pump | 旋片式真空泵 Rotary vacuum pump | TVP | |
3 | 等離子發(fā)生系統(tǒng) Plasma generator | 射頻電源 0-1000w+全網(wǎng)絡(luò)自動匹配器 RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network | KVMEN | |
4 | 真空監(jiān)控系統(tǒng)Vacuum Guage | 皮拉尼電阻式真空計 Pirani resistance vacuum gauge | Ulvac | |
5 | 氣體流量控制系統(tǒng)Mass Flow Control | 質(zhì)量流量控制器 MFC control system | ETON | |
6 | 氣體控制系統(tǒng) Gas control system | 二通電磁閥控制 2 Channel solenoid valve control | SMC | |
7 | 抽真空控制系統(tǒng)Vacuum output control | 高真空氣動擋板閥 GDW-KF40 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40 | ISO standard | |
8 | 破真空控制系統(tǒng)Vacuum breaking control | 高真空氣動擋板閥 GDW-KF16 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve | ISO standard | |
9 | 電*層數(shù) Electrode Layer | 水平電*板 8 層(層數(shù)可選) 8 Layers of horizontal electrode plate(Option) | AL6061-L | |
10 | 有效處理面積 Effective treatment area | 300mm(D)*400mm(W) | Option | |
11 | 工藝氣體通道 Process gas channel | 兩路工作氣體可選擇:AR O2 N2 H2 CF4 等 2 channels process gases option: AR O2 | Option | |
12 | 腔體規(guī)格 Chamber Size | 450mm(W)*450mm(D)*400mm(H) | AL-6061-L | |
13 | 整機(jī)外形尺寸 Layout Size | 995mm(W)*1085mm(D)*1750mm(H) |
名稱(Name) | Vacuum Plasma system | |||
型號(Model) | DSX-VPO-8L-S | |||
技術(shù)參數(shù)(Technical parameters) | 備注Remarks | |||
1 | 設(shè)備電源Power supply | 3P : 380VAC 50/60Hz | ||
2 | 設(shè)備功率Power KW | 5.7KW | ||
3 | 工作真空度 Working vacuum point | 10-100Pa | ||
4 | 抽真空時間 Vacuum output time | ≤100s | ||
5 | 破真空時間 Vacuum breaking time | ≤30s | ||
6 | 射頻電源功率 RF Power KW | 0-1000W | ||
7 | 機(jī)臺重量Weight | ≤500KG | ||
8 | 質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC Range | 0-200sccm | ||
9 | 操作方式 Mode of operation | 全自動運(yùn)行系統(tǒng),一鍵啟動 Fully auto operation system, One-key starting |